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등록번호
제목
2006 No. 10-0649112
반도체/디스플레이 제조 장비의 가스밸브 오동작 검축기
2005 No. 0479223
디지털 방식에 의한 매체의 제어장치
2004 No. 003215
Gas leakage detector of plasma chamber
2003 No. 0056876
Impedance diagnosis system for plasma process chamber
2002 No. 0362602
챔버 특성 및 매처 성능평가를 위한 어댑터