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Home > 연구개발 > 지적재산권 |
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등록번호 |
제목 |
2006 No. 10-0649112 |
반도체/디스플레이 제조 장비의 가스밸브 오동작 검축기 |
2005 No. 0479223 |
디지털 방식에 의한 매체의 제어장치 |
2004 No. 003215 |
Gas leakage detector of plasma chamber |
2003 No. 0056876 |
Impedance diagnosis system for plasma process chamber |
2002 No. 0362602 |
챔버 특성 및 매처 성능평가를 위한 어댑터 |
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