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년도
과 제
기관
2001.07.01~2003.06.30
(2년) Plasma Processing chamber최적화분석 tool기술개발
한국산업기술재단
2002.10.01~2003.03.31
(6개월) Plasma chamber Impedance측정장치의 상품화
한국산업기술재단
2003.03.01~2004.02.29
(1년) Plasma 장비의 RF 선도기술개발
호서대
2003.11.01~2005.10.31
(2년) 비파지 검사용 X선 영상시스템용 센서 어레이 제작 기술
산업자원부
2004.09.01~2007.08.31
(3년) 반도체/디스플레이 제조장비용 RF Plasma 모듈 개발
교육인적자원부/한국산업기술재단