년도 |
과 제 |
기관 |
2001.07.01~2003.06.30 |
(2년) Plasma Processing chamber최적화분석 tool기술개발 |
한국산업기술재단 |
2002.10.01~2003.03.31 |
(6개월) Plasma chamber Impedance측정장치의 상품화 |
한국산업기술재단 |
2003.03.01~2004.02.29 |
(1년) Plasma 장비의 RF 선도기술개발 |
호서대 |
2003.11.01~2005.10.31 |
(2년) 비파지 검사용 X선 영상시스템용 센서 어레이 제작 기술 |
산업자원부 |
2004.09.01~2007.08.31 |
(3년) 반도체/디스플레이 제조장비용 RF Plasma 모듈 개발 |
교육인적자원부/한국산업기술재단 |
