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Adaptor를 이용한 새로운 플라즈마 챔버 임피던스 측정 시스템의 구성도 및 흐름도를 그림 1과 그림 2에 각각 나타내었다. 그림 1의 측정 시스템은 공정중에 형성되는 챔버 임피던스를 측정하기 위하여 플라즈마 챔버와 RF Match사이에 위치하여 Adaptor와 결합되도록 구성되었다. Adaptor는 RF Match와 전기적으로 접속되는 도전성 금속체, 임피던스 보상회로, 신호인출을 위한 connector와 본체로 구성된다. Adaptor에서 인출된 선로는 검출장치를 통과해 플라즈마 챔버와 접속된다. 측정장치에서 검출된 아날로그 신호는 Analysis Board내에 내장된 Micro-Processor의 연산처리를 통해 실시간 디지털신호로 변환되어 RS232C 통신용 컨버터로 전송된다. 컨버터를 통해 변환된 신호는 개인용 컴퓨터의 프로그램을 통해 최종적으로 스미스 차트로 구현되어 측정값을 확인할 수 있도록 하였다.

<그림 1>과 같은 측정시스템을 이용한 플라즈마 챔버 임피던스 측정시스템의 흐름도는 <그림 2>와 같다