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HE-DETECTOR(3channel)
AHE-0300
Channel 수 : 3channel
  Gas종류 : Ar , N , O , H등
  동작압력 : 0 ~ 50 Torr
  동작속도 : < 20m/sec
동작온도 : 0 ~ 50℃
Interface: 가능
 
 
반도체·디스플레이 제조 공정에 이용되는 가스의 흐름 감지 및 제어하는 장치 MFC(Mass Flow Controller)에 의해 제어되는 파이널밸브(Final Valve) 와 챔버사이의 가스관에 압력센서를 부착시켜, 압력센선의 신호와 공압밸브의 동작신호를 디지털회로를 이용하여 실시간 제어하고, 반도체 제조공정 중에 발생할 수 있는 2차 소성물로 인한 가스의 흐름제어와 관련된 시스템 고장을 LED를 통해 실시간으로 확인가능함과 동시에,고장 발생시, 반도체 제조공정의 진행을 중단시켜 장비의 손상 및 안전사고를 예방할 수 있다.
 
(제어모듈의 블럭도)
 
개발된 제어모듈의 장착도
 
적용시스템