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RF Peak Detector board |
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0010-30092MK |
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Frequence : 13.56MHz |
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RF-Power Range : 1 ~ 3kw |
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DC-output : +5v ~ -5v |
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Variable control tye |
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①
Chamber에서 발생된 DC Bias를 모니터링하여 High Voltage
Module 및 ESC
Controller로 전달하는 부분.
②
Peak to peak detector board : AMAT Match의 Hybrid Etch
(0010-12090)에 사용 |
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