Home > Products > RF Peak Detector Board
 
RF Peak Detector board
0010-30092MK
Frequence : 13.56MHz
  RF-Power Range : 1 ~ 3kw
  DC-output : +5v ~ -5v
  Variable control tye
 
 
① Chamber에서 발생된 DC Bias를 모니터링하여 High Voltage
    Module 및 ESC Controller로 전달하는 부분.
② Peak to peak detector board : AMAT Match의 Hybrid Etch
    (0010-12090)에 사용