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P/M Board |
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AP6-0030(1KW,13.56MHZ) |
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AP6-0010(3KW,13.56MHZ) |
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RF Power : 1kw ~3kw |
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Frequence : 13.56MHz |
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Detecting signal : Phase / Mag / Forward / Reflect |
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①
전류/전압을 검출하여 이를 조합 출력임피던스와의 Miss
Match 값을 출력하여 Matching Network의 가변 수동소자를
동작시키는 Reference를 제공, 전원장치와 안테나 사이에 최적
의 Matching이 이루어지도록 함.
②
AMAT Match의 High Efficiency Etch(0100-30686)와 Hybrid
Etch(0010-12090)에 사용 |
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