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0190-36341MK
0630-01081MK
Air Variable Capacitor
 
0190-36341MK(40PF~1000PF,3kV)
0630-01081MK(30PF~800PF,3kV)
Capacity Cmax (nominal) : 1000PF
Capacity Cmax (nominal) : 40PF
Voltage (Peak working Upw) : 3KV
Capacity Tolerance (linear Range) : 0
Torque : < 0.3Nm
Net Weight : 0.3kg
 
① 챔버 임피던스와 RF match의 임피던스가 50[Ω]이 되도록 위상을 맞추어 주는 역할로 용량이 커질수록 매칭 범위가 젋어짐
② Air Variable Capacitor (0630-36341MK)은 AMAT Match의 High Efficiency Etch (0100-30686)와 Hybrid Etch(0010-12090) 에 사용
③ Air Variable Capacitor (0630-01081MK)은 AMAT  PHASE4 Match의 ETCH(0010-0946), CVD(0010-09750), DPS(0010-00854), PVD(0010-20524)에 사용