컨트롤러는 P/M 보드라는 센서에서 얻어진 신호를 기준으로 Air capacitor축에 연결된 모터와 인덕터에 연결된 모터를 컨트롤하는 것으로 정·역 방향회전이 되도록 설계되어 있고 센서에서 얻어진 신호가 크면 빨리, 적게 들어오면 느리게 움직이도록 되어 있음. 실제로 Phase와 Magnitude라는 신호가 전압으로 환산되어 조절,제어하는 장치
②
장비에 DC bias를 전달하고 Tune/Load위치를 전달하는 부분도 포함되어 있음
또한 Load가 +/-5.0V Tune이 +/-5.0V등 모터가 움직여야 하는 +/- 범위를 정해주는 부분도 포함되어 있음
③
AMAT Match의 High Efficiency Etch(0100-30686)와 Hybrid Etch (0010-12090)에
사용
