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Digital Rf Match Controller Board
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Àåºñ¿¡ DC bias¸¦ Àü´ÞÇϰí Tune/LoadÀ§Ä¡¸¦ Àü´ÞÇÏ´Â ºÎºÐµµ Æ÷ÇԵǾî ÀÖÀ½
¶ÇÇÑ Load°¡ +/-5.0V TuneÀÌ +/-5.0Vµî ¸ðÅͰ¡ ¿òÁ÷¿©¾ß ÇÏ´Â +/- ¹üÀ§¸¦ Á¤ÇØÁÖ´Â ºÎºÐµµ Æ÷ÇԵǾî ÀÖÀ½
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AMAT MatchÀÇ High Efficiency Etch(0100-30686)¿Í Hybrid Etch (0010-12090)¿¡ »ç¿ë